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상세정보
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology, 3 : from mems to bio-mems and bio-nems. 3 / Third edition
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 978-1-4200-5516-0 |
| 분류기호 : | 569.81 |
| 서명/저자사항 : | Fundamentals of microfabrication and nanotechnology, 3: from mems to bio-mems and bio-nems,. 3/ Marc J. Madou. |
| 판사항 : | Third edition. |
| 발행사항 : | Boca Raton: CRC Press, 2012. |
| 형태사항 : | 636p.: illus.; 29cm. |
| 개인저자 : | Madou, Marc J. |
| 분류기호 : | 569.81 |
| 언어 | 한국어 |
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