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상세정보
Ion implantation techniques: lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 0387118780 (U.S.) |
| 분류기호 : | 539 |
| 개인저자 : | Ryssel, H., ed. |
| 서명/저자사항 : | Ion implantation techniques: lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982/ editors, H. Ryssel and H. Glawischnig. |
| 발행사항 : | Berlin;. New York: Springer-Verlag, 1982. |
| 형태사항 : | xii, 372 p.: ill.; 24 cm. |
| 총서사항 : | Springer series in electrophysics; v. 10 |
| 서지주기 : | Includes bibliographies and index. |
| 일반주제명 : | Ion implantation. -- |
| 일반주제명 : | Semiconductor doping. -- |
| 개인저자 : | Glawischnig, H., 1939-. (Hans), |
| 회의명 : | International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques: Berchtesgaden, Germany): 1982 (4th |
| 분류기호 : | 539 |
| 언어 | 영어 |
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