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상세정보
마그네트론 스퍼트링법에 의해 증착된 TiN, TiCN 및 TiN/TiCN 박막의 조직과 재료 특성 연구
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| 분류기호 : | 김희재 |
| 서명/저자사항 : | 마그네트론 스퍼트링법에 의해 증착된 TiN, TiCN 및 TiN/TiCN 박막의 조직과 재료 특성 연구/ 김희재; 정강국 [공저]. |
| 대등표제 : | (The) Microstructure and material properties of TiN, TiCN and TiN/TiCN thin films deposited by magnetron sputtering method |
| 발행사항 : | 서울: 육군사관학교, 1999. |
| 형태사항 : | 1 파일 폴더(335-366p.): 삽도; 31cm. |
| 일반주기 : | 단면인쇄임 |
| 서지주기 : | 참고문헌 수록 |
| 개인저자 : | 김희재 |
| 개인저자 : | 정강국 |
| 모체 레코드 : | 육사논문집, 1999, 제55집 1권 |
| 언어 | 한국어 |
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