육군사관학교 학술정보원검색
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상세정보
마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 TiN/TiCN 다층 박막의 조직 및 재료 특성에 관한 연구
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| 분류기호 : | 김희재 |
| 서명/저자사항 : | 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 TiN/TiCN 다층 박막의 조직 및 재료 특성에 관한 연구/ 연구책임자: 김희재. |
| 대등표제 : | (A) Study on the Microstructure and material properties of TiN/TiCN multilayer thin films prodduced by magnetron sputtering method |
| 발행사항 : | [서울]: 육군사관학교 화랑대연구소, 1997. |
| 형태사항 : | vii, 67p.: 삽도; 26cm. |
| 일반주기 : | 단면인쇄임 |
| 일반주기 : | 연구기관: 육사 부설 화랑대 연구소 |
| 일반주기 : | 연구조원: 정강국 |
| 서지주기 : | 참고문헌 수록 |
| 개인저자 : | 김희재 |
| 개인저자 : | 정강국 |
| 단체저자명 : | 육군사관학교. 학교본부. 화랑대 연구소, 연구기관. |
| 언어 | 한국어 |
예약
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