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▼b C42L
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상세정보
Lecture notes on principles of plasma processing
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 0306474972: |
| 분류기호 : | 621.044 |
| 서명/저자사항 : | Lecture notes on principles of plasma processing/ Francis F. Chen and Jane P. Chang. |
| 발행사항 : | New York: Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003. |
| 형태사항 : | ix, 208 p.: ill.; 28 cm+ 1 electronic optical disc. |
| 일반주제명 : | Plasma engineering. -- |
| 일반주제명 : | Plasma chemistry. -- |
| 일반주제명 : | Plasma dynamics. -- |
| 개인저자 : | Chen, Francis F., 1929-, |
| 개인저자 : | Chang, Jane P., 1970-, |
| 분류기호 : | 621.044 |
| 언어 | 영어 |
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