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관성항법장치용 극소형 공진가속도계 개발에 관한 연구

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자료유형 :	단행본
분류기호 :	408
서명/저자사항 :	관성항법장치용 극소형 공진가속도계 개발에 관한 연구/ 국방과학연구소.
발행사항 :	대전: 국방과학연구소, 1994.
형태사항 :	63p.
개인저자 :	국방과학연구소
언어	한국어

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국방대학교 도서관

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KMO199950643 권 호 : 63
발행년 : 1994
서 명 : 관성항법장치용 극소형 공진가속도계 개발에 관한 연구
발행처 : 국방과학연구소

목차
1. 서론
2. 미소재료 시험기
3. 블리스터 시험법
4. 이론적 배경 - 멤브레인의 변형해석
5. 시편의 설계 및 제작
6. 측정기기 구성 및 시험방법
7. 물성시험 결과 및 토의
8. P+ 실리콘 박막
9. 산화막
10. 알루미늄
11. 크롬
12. 금
13. 결론
14. 향후 연구 방향