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마그네크론 스퍼트링법에 의해 제조된 TIN TICN TIN/TICN 박막의 조직 및

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도서 상세정보
자료유형 :	단행본
분류기호 :	569.644
개인저자 :	정강국
서명/저자사항 :	마그네크론 스퍼트링법에 의해 제조된 TIN TICN TIN/TICN 박막의 조직 및/ 정강국.
발행사항 :	서울: 군사과학대학원, 1998.
형태사항 :	67p.
개인저자 :
언어	한국어

소장정보

국방대학교 도서관

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KMO199956567 권 호 : 67
발행년 : 1998
서 명 : 마그네크론 스퍼트링법에 의해 제조된 TIN TICN TIN/TICN 박막의 조직 및
발행처 : 정강국

목차
1. 서론
2. 이론적 배경
3. MAGNETRON SPUTTERING
4. TI의 특성과 TIN, TICN의 결정구조
5. 박막의 구조 모델
6. 다층박막의 강화
7. 박막의 잔류응력
8. 실험 방법
9. 실험 재료
10. 증착 장치
11. 증착 조건
12. 증착층 분석
13. 실험 결과 및 고찰
14. TIN 박막의 특성
15. TICN 박막의 특성
16. TIN/TICN 다층 박막의 조직 및 기계적 성질
17. 결론