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상세정보
Achieving Optimal Cycle Time Improvement in a 300-mm Semiconductor Fab Using Dynamic Simulation and Design of Experiments
QR코드| 자료유형 : | 기사 |
|---|---|
| 기사명 : | Achieving Optimal Cycle Time Improvement in a 300-mm Semiconductor Fab Using Dynamic Simulation and Design of Experiments |
| 저자 : | Mercier, Dominique|Bonnin, Oliver |
| 발행사항 : | The Society for Modeling & Simulation International : Vista , 2003 |
| 수록잡지명 : | Simulation : Transactions of the Society for Modeling and Simulation International : 2003. March Vol.79 No.3 |
| 페이지 : | 171 |
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