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상세정보
Effect on 4H-SiC Schottky Rectifiers of Ar Discharges Generated in A Planar Inductively Coupled Plasma Source
QR코드| 자료유형 : | 기사 |
|---|---|
| 기사명 : | Effect on 4H-SiC Schottky Rectifiers of Ar Discharges Generated in A Planar Inductively Coupled Plasma Source |
| 저자 : | Jung, P.G.|Lim, W.T. |
| 발행사항 : | A Publication of the Institute of Electronics Engineers of Korea : Seoul , 2003 |
| 수록잡지명 : | Journal of Semiconductor Technology and Science[2001-2010] : 2003. March Vol.3 No.1 |
| 페이지 : | 21 |
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