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Faulure Anlaysis of Integrated Circuits Beyond the Diffraction Limit : Contact Mode Near-Field Scanning Optical Microscopy with Integrated Resistance, Capacitance, and UV Confocal Imaging
QR코드| 자료유형 : | 기사 |
|---|---|
| 기사명 : | Faulure Anlaysis of Integrated Circuits Beyond the Diffraction Limit : Contact Mode Near-Field Scanning Optical Microscopy with Integrated Resistance, Capacitance, and UV Confocal Imaging |
| 저자 : | Lewis, A.|Shambrot, E. |
| 발행사항 : | IEEE : New York , 2000 |
| 수록잡지명 : | Proceedings of the IEEE[1912-2010] : 2000. September Vol.88 No.9 |
| 페이지 : | 1471 |
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