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Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications
QR코드| 자료유형 : | 기사 |
|---|---|
| 기사명 : | Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications |
| 저자 : | |
| 발행사항 : | A Publication of the Institute of Electronics Engineers of Korea : Seoul , 2005 |
| 수록잡지명 : | Journal of Semiconductor Technology and Science[2001-2010] : 2005. March Vol.5 No.1 |
| 페이지 : | 58 |
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