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▼a 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 INDIUM-TIN OXIDE 박막의 제작과 그 특성/
▼d 김여중. -
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▼a 서울:
▼b 군사과학대학원,
▼c 1999. -
300
▼a 40p.
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653
▼a 마그네트론
▼a 스퍼터링법
▼a INDIUMTIN
▼a OXIDE
▼a 박막 -
700
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991
▼a 단행본
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상세정보
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 INDIUM-TIN OXIDE 박막의 제작과 그 특성
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KMO199959460
권 호 : 40
발행년 : 1999
서 명 : 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 INDIUM-TIN OXIDE 박막의 제작과 그 특성
발행처 : 김여중
목차
1. 이론적 배경
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
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