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▼a 팹부터 검사까지 제조장치를 살펴본다
▼a 図解入門よくわかる :
▼b 最新半導体製造装置の基本と仕組み
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▼a 본서는 "図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み. 第3版. c2019."의 번역서임
▼a 참고문헌(p. 277)과 색인수록
▼a 정학기,
▼e 역
▼a 단행본
| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 9791168330467 |
| 분류기호 : | 621.38152 |
| 개인저자 : | 좌등 순일 (佐藤 淳一), 1954- |
| 서명/저자사항 : | (알기쉬운) 최신 반도체 제조장치의 기본과 구조 / 佐藤淳一 著 ; 정학기 譯 |
| 기타표제 : | 팹부터 검사까지 제조장치를 살펴본다 |
| 원서명 : | 図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み |
| 발행사항 : | 파주 : 21세기사, 2022 |
| 형태사항 : | 288 p. : 삽화, 표 ; 25 cm |
| 일반주기 : | 본서는 "図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み. 第3版. c2019."의 번역서임 |
| 서지주기 : | 참고문헌(p. 277)과 색인수록 |
| 개인저자 : | 정학기, 역 |
| 언어 | 한국어 |
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