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Detailed Information
Advanced metallization for devices and circuits--science, technology and manufacturability: symposium held April 4-8, 1994, San Francisco, California, U.S.A.
QR Code| Data Type : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 1558992375 |
| ISSN : | 0272-9172 |
| Class No. : | 621.38152 |
| Title/Author : | Advanced metallization for devices and circuits--science, technology and manufacturability: symposium held April 4-8, 1994, San Francisco, California, U.S.A./ editors, S.P. Murarka ... [et al.]. |
| Imprint : | Pittsburgh, Pa.: Materials Research Society, c1994. |
| Format : | xiv, 768 p.: ill.; 24 cm. |
| Total Title Note : | Materials Research Society symposium proceedings; v. 337 |
| Note : | Includes bibliographical references and indexes. |
| General Subject Name : | Semiconductors -- Design and construction -- Congresses. -- |
| General Subject Name : | Metallizing -- Congresses. -- |
| General Subject Name : | Metallic films -- congresses. -- |
| Personal Author : | Murarka, S. P, |
| Class No. : | 621.38152 |
| Language | English |
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