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상세정보
Advanced metallization for devices and circuits--science, technology and manufacturability: symposium held April 4-8, 1994, San Francisco, California, U.S.A.
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 1558992375 |
| ISSN : | 0272-9172 |
| 분류기호 : | 621.38152 |
| 서명/저자사항 : | Advanced metallization for devices and circuits--science, technology and manufacturability: symposium held April 4-8, 1994, San Francisco, California, U.S.A./ editors, S.P. Murarka ... [et al.]. |
| 발행사항 : | Pittsburgh, Pa.: Materials Research Society, c1994. |
| 형태사항 : | xiv, 768 p.: ill.; 24 cm. |
| 총서사항 : | Materials Research Society symposium proceedings; v. 337 |
| 서지주기 : | Includes bibliographical references and indexes. |
| 일반주제명 : | Semiconductors -- Design and construction -- Congresses. -- |
| 일반주제명 : | Metallizing -- Congresses. -- |
| 일반주제명 : | Metallic films -- congresses. -- |
| 개인저자 : | Murarka, S. P, |
| 분류기호 : | 621.38152 |
| 언어 | 영어 |
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