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상세정보
Reliability of MEMS
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 9783527314942 |
| 분류기호 : | 621 |
| 서명/저자사항 : | Reliability of MEMS/ Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya. |
| 발행사항 : | Weinheim: Wiley-VCH, c2008. |
| 형태사항 : | xx, 303p.: ill.; 25cm. |
| 총서사항 : | Advanced micro & nanosystems; 6 |
| 일반주기 : | Includes bibliographical references and index |
| 개인저자 : | Tabata, Osamu, |
| 개인저자 : | Tsuchiya, Toshiyuki, |
| 분류기호 : | 621 |
| 언어 | 영어 |
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