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▼b 김용신
▼a RF magnetron sputtering법을 이용한 Al2O3 박막의 성장과 후속 열처리 조건에 따른 특성 분석/
▼d 김용신.
▼a 서울:
▼b 군사과학대학원,
▼c 2001.
▼a vi, 50p.:
▼b 삽도;
▼c 26cm.
▼a 단면인쇄임
▼j Growth of Al2O3 thin film by RF magnetron sputtering method and study on characteristics of the thin fulm with annealing condition
▼a 학위논문(석사)
▼b 군사과학대학원:
▼c 재료과학과,
▼d 2001
▼a 참고문헌: p. 48-50
▼a RF
▼a MAGNETRON
▼a SPUTTERING법을
▼a 이용한
▼a AL2O3
▼a 박막
▼a 성장과
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▼a 조건에
▼a 따른
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▼a FILM
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▼a 김용신
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▼a 비매품
▼a 하한보배
▼a 학위논문
▼a 671.73
▼b 김용신
| 자료유형 : | 학위논문 |
|---|---|
| 분류기호 : | 671.73 |
| 서명/저자사항 : | RF magnetron sputtering법을 이용한 Al2O3 박막의 성장과 후속 열처리 조건에 따른 특성 분석/ 김용신. |
| 발행사항 : | 서울: 군사과학대학원, 2001. |
| 형태사항 : | vi, 50p.: 삽도; 26cm. |
| 일반주기 : | 단면인쇄임 |
| 일반주기 : | Growth of Al2O3 thin film by RF magnetron sputtering method and study on characteristics of the thin fulm with annealing condition |
| 학위논문주기 : | 학위논문(석사) 군사과학대학원: 재료과학과, 2001 |
| 서지주기 : | 참고문헌: p. 48-50 |
| 개인저자 : | 김용신 |
| 분류기호 : | 671.73 |
| 언어 | 한국어 |
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