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나노 반도체 소자 설계 및 제조공정 기술

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도서 상세정보
자료유형 : 단행본
ISBN : 9791158083045 
개인저자 : 최성재
서명/저자사항 : 나노 반도체 소자 설계 및 제조공정 기술/  최성재 지음. 
발행사항 : 파주:  자유아카데미,  2021. 
형태사항 : vii, 585 p.:  삽화, 도표;  28 cm. 
일반주기 : 찾아보기: p.581-585 
서지주기 : 참고문헌수록: p.575-579 
일반주제명 : 반도체 소자[半導體素子] -- 
일반주제명 : 제조 공정[製造工程] -- 
분류기호 : 621.38152 
언어 한국어

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