상세검색
- Home
- 검색
- 상세검색
-
Marc 보기
MARC 닫기
-
LDR
00646nam a2200181 c 4500
-
001
000000825747
-
005
20010515120101
-
008
000628s1987 us a AD eng
-
040
▼a 243002
-
100
▼a Ehrlich, Daniel J.
-
245
▼a Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics /
▼d ed. by Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi and Modest M. Oprysko. -
260
▼a Pittsburgh:
▼b Materials Research Society,
▼c 1987. -
300
▼a xv, 509 p.:
▼b illus.;
▼c 24 cm. -
440
▼a Materlals research society symposium proceedings;
▼v 101. -
700
▼a Higashi, Gregg S,
-
700
▼a Oprysko, Modest M,
-
991
▼a 단행본
-
090
▼a 621.3817
▼b E331
-
LDR
- 바구니담기
- 내서재 담기
- 내보내기
상세정보
Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| 개인저자 : | Ehrlich, Daniel J. |
| 서명/저자사항 : | Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics / ed. by Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi and Modest M. Oprysko. |
| 발행사항 : | Pittsburgh: Materials Research Society, 1987. |
| 형태사항 : | xv, 509 p.: illus.; 24 cm. |
| 총서사항 : | Materlals research society symposium proceedings; 101. |
| 개인저자 : | Higashi, Gregg S, |
| 개인저자 : | Oprysko, Modest M, |
| 분류기호 : | 621.3817 |
| 언어 | 영어 |
예약
- 1. 예약현황은 홈페이지 로그인 후 예약 페이지에 확인 가능합니다.
- 2. 도착 통보된 예약자료 대출을 원하지 않는 경우에는 예약 현황에서 취소할 수 있습니다.
- 3. 기타 문의사항은 도서관에 문의 바랍니다.
무인예약대출
- 1. 무인예약대출 현황은 홈페이지 로그인 후 무인예약대출 페이지에 확인 가능합니다.
- 2. 무인예약대출자료 대출을 원하지 않는 경우에는 무인예약대출 페이지에서 신청 또는 접수상태인 경우만 취소할 수 있습니다.
- 3. 희망대출일은 신청일로부터 최대 1주일 까지 가능합니다.
- 4. 희망대출일을 선택하지 않은 경우 대출대기 통보 후 1주일까지 기기에서 대출가능합니다.
- 5. 기타 문의사항은 도서관에 문의 바랍니다.
항공우주(航空宇宙) = Monthly aerospace industry
629.13005 항15하
월간항공(月刊航空) = Aerospace & Defense
629.13005 항15
드론매거진 = DRONE MAGAZINE
623.746905 드29ㄷ
서평쓰기