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▼a 권말부록: Material properties ; Frequently used formulas for beams and membranes
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▼a 영어 원작을 한국어로 번역
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자료유형 :	단행본
ISBN :	9788991182981
개인저자 :	Liu, Chang
서명/저자사항 :	MEMS의 기초/ Chang Liu 지음 ; 최범규, 이재영, 이희철, 임시형, 장성필 옮김.
원서명 :	Foundations of MEMS
발행사항 :	서울: 한티미디어, 2009.
형태사항 :	xxiv, 658 p.: 삽화, 도표; 25 cm.
서지주기 :	참고문헌과 색인수록
부록주기 :	권말부록: Material properties ; Frequently used formulas for beams and membranes
일반주제명 :	MEMS [microelectromechanical system] --
일반주제명 :	마이크로 머신[micromachine] --
개인저자 :	Liu, Chang
개인저자 :	최범규
개인저자 :	이재영
개인저자 :	이희철
개인저자 :	임시형, 林時亨, 1971-
개인저자 :	장성필
분류기호 :	569
언어	한국어

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