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반도체장비의 이해

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도서 상세정보
자료유형 : 단행본
ISBN : 9791198429193 
분류기호 : 621.38152 
개인저자 : 장인배
서명/저자사항 : 반도체장비의 이해 /  장인배 저 
발행사항 : 서울 :  에이퍼브프레스 ,  2024 
형태사항 : xvii, 709 p. :  삽화 ;  26 cm 
일반주기 : 2024년도 대한민국학술원 선정 교육부 우수학술도서 
일반주기 : 색인 수록 
일반주제명 : 반도체 공학[半導體工學] -- 
언어 한국어

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