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상세정보
Rapid thermal processing: science and technology
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 0122476905 |
| 분류기호 : | 621.3817 |
| 서명/저자사항 : | Rapid thermal processing: science and technology/ Richard B. Fair. |
| 발행사항 : | Boston: Academic Press, 1993. |
| 형태사항 : | viii, 430 p.; 24 cm. |
| 서지주기 : | Includes bibliographical references and index. |
| 일반주제명 : | Semiconductors -- Heat treatment. -- |
| 일반주제명 : | Semiconductor doping. -- |
| 개인저자 : | Fair, Richard B, |
| 분류기호 : | 621.3817 |
| 언어 | 영어 |
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