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상세정보
Introduction to VLSI process engineering/ English language ed
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 0412395509 (alk. paper) |
| 분류기호 : | 621.38173 |
| 서명/저자사항 : | Introduction to VLSI process engineering/ edited by the Society of Chemical Engineers of Japan; editor in chief, Yuji Naka. |
| 판사항 : | English language ed. |
| 발행사항 : | London;. New York: Chapman & Hall, 1993. |
| 형태사항 : | xiii, 210 p.; 24 cm. |
| 일반주기 : | Includes index. |
| 일반주제명 : | Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction. -- |
| 일반주제명 : | Manufacturing processes. -- |
| 개인저자 : | Naka, Yuji, 1945-, |
| 단체저자명 : | Kagaku K？gaku Ky？kai (Japan). |
| 분류기호 : | 621.38173 |
| 언어 | 영어 |
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