MARC 닫기

• LDR

  00894nam a2200265 u 4500

• 001

  000000385016

• 005

  20120928101151

• 008

  050117s2003 us a b 001 eng

• 010

  ▼a  2002040665

• 020

  ▼a  0306474972:
  ▼c  EUR71.00

• 040

  ▼a  DLC
  ▼c  DLC
  ▼d  DLC
  ▼d  HYUC
  ▼d  211062
  ▼d  211047

• 042

  ▼a  pcc

• 049

  ▼l  AZ0000224748

• 082

  ▼a  621.044
  ▼2  21

• 090

  ▼a  621.044
  ▼b  C42L

• 245

  ▼a  Lecture notes on principles of plasma processing/
  ▼d  Francis F. Chen and Jane P. Chang.

• 260

  ▼a  New York:
  ▼b  Kluwer Academic/Plenum Publishers,
  ▼c  c2003.

• 300

  ▼a  ix, 208 p.:
  ▼b  ill.;
  ▼c  28 cm+
  ▼e  1 electronic optical disc.

• 650

  ▼a  Plasma engineering.

• 650

  ▼a  Plasma chemistry.

• 650

  ▼a  Plasma dynamics.

• 653

  ▼a  LECTURE
  ▼a  NOTES
  ▼a  ON
  ▼a  PRINCIPLES
  ▼a  OF
  ▼a  PLASMA
  ▼a  PROCESSING

• 700

  ▼a  Chen, Francis F.,
  ▼d  1929-,

• 700

  ▼a  Chang, Jane P.,
  ▼d  1970-,

• 990

  ▼b  211062,강지윤
  ▼b  211047,김영미

• 991

  ▼a  단행본

• 090

  ▼a  621.044
  ▼b  C42L