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상세정보
Glow discharge processes: sputtering and plasma etching
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 0-471-07828-X: |
| 분류기호 : | 537.52 |
| 개인저자 : | Chapman, Brian. |
| 서명/저자사항 : | Glow discharge processes: sputtering and plasma etching/ Brian Chapman. |
| 발행사항 : | New York: John Wiley ＆ sons, 1980. |
| 형태사항 : | xv,406p.: ill.; 24cm. |
| 서지주기 : | Includes bibliographical references(p.397-400) and index |
| 분류기호 : | 537.52 |
| 언어 | 영어 |
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