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▼a 염근영
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▼a 플라즈마 식각기술/
▼d 염근영 저. -
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▼a 고양:
▼b YOUNG,
▼c 2012. -
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▼a 400 p.:
▼b 삽도;
▼c 24 cm. -
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▼j Plasma etching technology
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▼a 찾아보기: p. 395-400
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▼a 단행본
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플라즈마 식각기술
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