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▼a Stuart, R. V.
▼a Vacuum technology, Thin films, and Sputtering:
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▼a INTRODUCTION
▼a 단행본
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| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| 분류기호 : | 621.55 |
| 개인저자 : | Stuart, R. V. |
| 서명/저자사항 : | Vacuum technology, Thin films, and Sputtering: an introduction/ R. V. Stuart. |
| 발행사항 : | N. Y.: Academic press, 1983. |
| 형태사항 : | 151 p.; 24 cm. |
| 분류기호 : | 621.55 |
| 언어 | 영어 |
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