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▼g 93560 -
040
▼a 211047
▼c 211047 -
245
▼a 기초 진공 공학=
▼x Introduction to basic vacuum engineering for semiconductor and display processing/
▼d 김현후 [외]저. -
260
▼a 서울:
▼b 내하출판사,
▼c 2007. -
300
▼a x, 301p.:
▼b 삽화, 도표;
▼c 25cm. -
500
▼a 참고문헌 및 색인수록
-
653
▼a 진공
▼a 공학
▼a VACUUM
▼a ENGINEERING
▼a SEMICONDUCTOR
▼a DISPLAY
▼a PROCESSING -
700
▼a 김현후
-
740
▼a 진공 공학
-
950
▼b \20000
-
990
▼a 211047,조정미
-
991
▼a 단행본
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090
▼a 621.55
▼b 기84ㄴ
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상세정보
기초 진공 공학 = Introduction to basic vacuum engineering for semiconductor and display processing
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