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상세정보
Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| 분류기호 : | 621.3817 |
| 개인저자 : | Ehrlich, Daniel J. |
| 서명/저자사항 : | Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics / ed. by Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi and Modest M. Oprysko. |
| 발행사항 : | Pittsburgh: Materials Research Society, 1987. |
| 형태사항 : | xv, 509 p.: illus.; 24 cm. |
| 총서사항 : | Materlals research society symposium proceedings; 101. |
| 개인저자 : | Higashi, Gregg S, |
| 개인저자 : | Oprysko, Modest M, |
| 언어 | 영어 |
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