공군사관학교 학술정보원
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▼a CMP는 "Chemical Mechanical Polishing"의 약어임
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▼a 가공기술
▼a CMP가공
▼a 반도체
▼a 전자회로
▼a 전자공학 -
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▼a Toshiro Doi.,
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▼a Kasai, T.,
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▼a Nakagawa, T.,
▼e 저 -
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▼a 이충훈,
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▼a Toshiro Doi
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▼a Toshiro Kasai
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700
▼a Toshiro Nakagawa
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740
▼a 반도체평탄화CMP기술
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856
▼3 Table of Contents
▼u http://www.riss4u.net/keris_abstoc.jsp?no=08027895 -
900
▼a 도시로 가사이
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900
▼a 도시로 나카가와
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940
▼a 반도체 평탄화 씨엠피 기술
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950
▼b \15,000
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990
▼a FUTURE
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991
▼a 단행본
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LDR
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상세정보
반도체 평탄화 CMP 기술
QR코드| 자료유형 : | 단행본 |
|---|---|
| ISBN : | 8955260199 |
| 분류기호 : | 621.38152 |
| 개인저자 : | 도시로 도이, 저 |
| 서명/저자사항 : | 반도체 평탄화 CMP 기술/ T. Doi; T. Kasai; T. Nakagawa [공]저; 이충훈...[등]역. |
| 원서명 : | 半導體平坦化CMP技術 |
| 발행사항 : | 서울: 북스힐, 2001. |
| 형태사항 : | 283p.: 삽도; 23cm. |
| 일반주기 : | CMP는 "Chemical Mechanical Polishing"의 약어임 |
| 서지주기 : | 찾아보기 수록 : p.279-283 |
| 개인저자 : | Toshiro Doi., 저 |
| 개인저자 : | Toshiro Kasai., 공저 |
| 개인저자 : | Toshiro Nakagawa., 공저 |
| 개인저자 : | Kasai, T., 저 |
| 개인저자 : | Nakagawa, T., 저 |
| 개인저자 : | 이충훈, 역 |
| 개인저자 : | Toshiro Doi |
| 개인저자 : | Toshiro Kasai |
| 개인저자 : | Toshiro Nakagawa |
| 언어 | 한국어 |
| URL : |
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예약
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- 2. 도착 통보된 예약자료 대출을 원하지 않는 경우에는 예약 현황에서 취소할 수 있습니다.
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